高純氣體對于不同類別的氣體，純度指標(biāo)不同，例如對于氮，氫，氦而言，通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體；而對于氧氣，純度為99.99%即可稱高純氧；對于碳?xì)浠衔?，純度?9.99%的即可認(rèn)為是高純氣體。高純氣體應(yīng)用領(lǐng)域極寬，在半導(dǎo)體工業(yè)，高純氮、氫、氦可作為運(yùn)載氣和保護(hù)氣；高純氣體可作為配制混合氣的底氣。色譜分析檢測過程中，氣相色譜儀對所用的氣體純度有較高的要求，為既達(dá)到工作要求，又能延長儀器壽命，標(biāo)準(zhǔn)氣體，所用氣體的純度要達(dá)到或略高于儀器自身對氣體純度的要求;否則，工業(yè)氣體，若使用不符合要求的低純度氣體，混合氣體，會造成一系列不良影響。
高純氣體如何安全供氣？易燃易爆氣體此類氣體只要形成了可燃?xì)怏w混合氣和達(dá)到著火溫度，便會發(fā)生燃燒事故，因此在可燃?xì)怏w入口處、氣體鋼瓶存放間、潔凈室內(nèi)使用可燃?xì)怏w處、敷設(shè)可燃?xì)怏w的管廊或技術(shù)夾層以及可能聚集可燃?xì)怏w的場均應(yīng)設(shè)置可燃?xì)怏w報(bào)警裝置。具體要求如下：①可燃?xì)怏w比空氣輕者，報(bào)警裝置設(shè)置在所處場所的頂部。②可燃?xì)怏w比空氣重者，報(bào)警裝置設(shè)置在所處場所的低處。③可燃?xì)怏w的報(bào)警裝置應(yīng)與相應(yīng)的事故排風(fēng)裝置設(shè)電氣連鎖，當(dāng)空氣中的可燃?xì)怏w濃度達(dá)到規(guī)定值時(shí)，事故排風(fēng)裝置自動開啟，同時(shí)向潔凈廠房的消防安全值班室發(fā)出報(bào)警信號。
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